高精度纳米力学测试仪

本实验系统可在纳/微米尺度上连续记录作用在样品上的载荷和压入样品表面的深度，获得被压材料的硬度和模量。主要用于岩土体材料的纳米压痕、纳米划痕、摩擦磨损、原位成像、动态力学性能等纳米特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变等功能。

二、技术指标

1、纳米压痕测试：

1.1最大载荷：≥10mN；载荷力分辨率：≤1nN；最大位移：≥5μm

1.2最小载荷：≤70nN，载荷噪音背景：≤20nN

1.3位移噪音背景：≤0.2nm，位移分辨率：≤0.006nm

2、高解析原位扫描探针成像（SPM）

2.1扫描频率：0.01Hz～3.0Hz

2.2扫描分辨率：4096×4096像素点

2.3扫描探针原位的位置控制精度：±10nm

3、纳米划痕测试：最大横向载荷力：2mN；横向载荷分辨率：≤50nN